1、前言

        在半導體配件能力存儲芯片和集合電源電路工藝設計中，原材料、晶圓、存儲芯片的軟件自測自測是必不能不少的方式。不斷地半導體配件能力存儲芯片軟件自測自測能力的成長 ，字母化源表SMU切合檢測器臺的體系組合起來已是被范圍廣使用于原材料/細小集成電路芯片的電學特點手機驗證中。字母化源表SMU遵循源測工作，可不可以誕生直流電壓值-電壓值(I-V)特點的曲線，是半導體配件能力存儲芯片原材料、集成電路芯片電性表現衡量的價值體系；檢測器臺有帶有大量手動、半電腦自動式和全電腦自動式這三種，可根據軟件自測自測要求會選擇生活配套的新產品如要。在選則時要求準備檢測器的原材料或針尖的直徑不低于與圖行，檢測器原材料各個，其特性阻抗又不相等；前者，檢測器尖磨壞和水污染也會對軟件自測自測報告單引致決定。

        在測試時，通過數字源表提供激勵并對測量信號進行采集。首先將電流或電壓輸入被測器件（DUT），測量該器件對此輸入信號的響應；這些信號的路徑為：源表的輸出端接入電纜，電纜和探針連接，電流或電壓信號通過探針至芯片。

圖：SMU、測試探針、DUT連入構造

        下文中，我們將探討數字源表SMU和探針臺的連接注意事項，以及不同材料/器件的測試應用案例。

2、數字源表SMU與探針臺的連接

        電極臺與源表的接觸常見的有這兩種，一個用同軸網接觸，另一類個用三同軸網接觸。當自動測量小直流電(nA、pA)時，應用三同軸呼叫轉移功能模塊和三同軸網纜。在和接入源表愛護措施商品詳情頁檢測控制電路中，鑒于三同軸的愛護措施層與內芯內是等電極電位，不會現漏直流電產生，會從而提高小直流電檢測高精準度。

圖：三同軸線纜半剖圖

（1導體；2絕緣層；3內屏蔽掉掉層；4前面層；5外屏蔽掉掉層；6外絕緣護套）

圖：三同定位軸線纜等效電路系統圖

  上圖表達為三同軸網纜等效集成運放圖，效果高檔次HI和Guard兩者之間的電勢差差可以說為0，若想避免電線電纜自我的漏電流。

以下是使用普賽斯直流源表、脈沖源表、高壓源表、大電流源表與探針臺的接線說明：

S類型直流電壓源表

- 兩同軸連接 -

使用香蕉頭轉BNC母頭的轉接頭進行連接；

- 三同軸連接 -

        三同軸進行防水聯系器與傳統兩芯進行防水聯系器有點多種，可一同接駁4g無線表現、接地極和屏避層，屏避功效好。和多芯數據線好于，三同軸數據線成分十分簡單，可信高；和兩芯同軸數據線好于，包括更加高的屏避特點和小4g無線表現的傳送能力素質。三同軸數據線的進行聯系模式用到了GUARD4g無線表現，體現了了屏避的作用，更有好處于小4g無線表現的測量方法。

P系列脈沖源表

- 兩同軸連接 -

利用杜邦線轉BNC母頭做好接；

- 三同軸連接 -

的使用三同軸進行連接方案使用進行連接。

E系列高壓源表

- E100(1200V) -

單獨實用三同定位軸線采取相連接；

- E200(2200V)/E300(3500V) -

將平民的三同軸換個為壓力專門的三同中軸線；油田三同軸直管接頭的耐壓試驗性力量極強，普賽斯利用的油田三同軸直管接頭能夠 耐壓試驗性3500V。

圖：左-低壓三同軸、右-一般的三同軸

HCPL 100大電流源表

大感應交流電檢測的時，單根檢測器充許的感應交流電局限，感應交流電過大可以會因起燒針表現，直接影響檢測結果，這樣是需要便用多檢測器串并聯。

圖：多檢測器串并聯構造

3、探針臺與器件的連接

 在不同的材料測試中可能會遇到共面電極或異面電極的材料。共面電極指陽極和陰極在同一平面；異面電極指陽極和陰極不在同一平面，常見為正反面。

圖：共面電極材料接舉手

圖：異面電極片進行連接示意圖

4、測試注意事項

-探針臺接地：探針臺結構上有很多金屬，在帶電的環境下會存在很強的靜電，一般探針臺會自帶大地連接線，使用中將探針臺接大地，避免釋放靜電給測試帶來影響。一般地線分為兩類：一種是工作接地，另一種是安全性接地。工作接地是把金屬導體銅塊埋在土壤里， 再通過導線引出地面，將導線接入設備的接地端口，形成接地回路。 安全性接地是指使用探針臺金屬外殼自帶的接地線進行接地，當探針臺金屬外殼發生絕緣損壞，外殼帶電時，電流沿著其外殼自帶的接地線接入大地，以達到安全的目的。

-連接線接地：探針臺的連接線為同軸線，兩根同軸線的內芯是信號線，從而導致兩根同軸線的外屏蔽層懸空，未起到屏蔽的作用，在磁場環境復雜的情況下會對測試產生較大的干擾。因此，為了獲得較好的測試效果，需要將同軸線纜的外屏蔽層接入工作地線。

-關閉光源：很多器件和材料對光源敏感，測試中如果不關閉光源會影響測試結果，所以測試時盡量在無光源影響的環境中進行。

-小電流測試時加屏蔽罩：如果測試電流為pA級別，需要給探針臺增加屏蔽罩。

-異面電極材料連接：異面電極材料連接時通常會使用探針臺Chuck盤做電極，但是Chuck盤的平整度會對材料的接觸面有影響，那么此時就需要使用引電極。